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超结的击穿机理与特性分析

         

摘要

利用ISE软件模拟了阻断状态下超结(SJ)的耗尽层与电场分布,从电场分布的角度解释了SJ的击穿机理.并分析关键参数,如P柱与n柱的宽度、浓度等变化对超结击穿电压的影响.结果表明,SJ的击穿机理与传统的圆柱型结不同,SJ的击穿并不发生在结面的拐点处.并且,通过调整边缘区域P柱或n柱的宽度和浓度来提高SJ器件耐压及其稳定性.

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