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栅对准误差对双栅MOSFET性能影响的分析

         

摘要

双栅MOSFET是一种非常有发展前途的新型器件,它具有跨导高、亚阈值特性优异、短沟道特性好等优点.但是目前自对准的双栅MOSFET的工艺制作相当困难.本文中分析了双栅MOSFET 的正、背面栅存在对准误差时,对器件的静态及动态特性的影响,并提出了一种改善这种影响的方法.

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