提高微米金刚石聚晶薄膜的场发射点密度研究

高金海; 崔颖琦; 张洁; 李成刚; 张兵临

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利用微波等离子化学气相沉积的方法,制备出微米金刚石聚晶颗粒薄膜,通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了薄膜的形貌与结构,用场发射二级结构研究薄膜的场发射性能。研究了微米金刚石聚晶薄膜的产生的机理,调整制备过程中的参数来增加聚晶颗粒的密度,提高场发射点的密度,为制备大面积、均匀的场发射阴极打下基础。

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来源
《电子器件》 |2021年第6期|1381-1384|共4页
作者
高金海; 崔颖琦; 张洁; 李成刚; 张兵临;
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作者单位

郑州师范学院物理与电子工程学院;

郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;薄膜物理学;
关键词
微波等离子体化学气相沉积; 微米金刚石聚晶薄膜; 场发射;

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