激光刻蚀类球状微米金刚石聚晶薄膜对场致电子发射稳定性的影响

高金海; 张武勤; 李桢; 张兵临

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激光刻蚀类球状微米金刚石聚晶薄膜对场致电子发射稳定性的影响

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在覆盖金属钛层的陶瓷上,通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜,并通过激光刻蚀金刚石聚晶薄膜的表面.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱,X射线衍射分析了刻蚀前后的结构和表面形貌,测试了刻蚀前后薄膜的场致电子发射特性,发现激光的刻蚀对金刚石聚晶薄膜场致电子发射的稳定性有一定的提高,并对其制备过程及发射机理进行了研究.

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来源
《物理实验》 |2012年第10期|13-16|共4页
作者
高金海; 张武勤; 李桢; 张兵临;
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作者单位

郑州师范学院物理系,河南郑州450044;

郑州师范学院物理系,河南郑州450044;

郑州师范学院物理系,河南郑州450044;

郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南郑州450052;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;薄膜物理学;
关键词
微波等离子体; 化学气相沉积; 类球状微米金刚石聚晶薄膜; 场致电子发射;

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