微机电器件的稳健设计

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• 来源
  《工程设计学报》 |2004年第3期|124-127|共4页
• 作者

  杨涛; 何叶; 魏东梅; 李磊民;

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• 作者单位

  西南科技大学,信息与控制工程学院,四川,绵阳,621002;

  西南科技大学,信息与控制工程学院,四川,绵阳,621002;

  西南科技大学,信息与控制工程学院,四川,绵阳,621002;

  西南科技大学,信息与控制工程学院,四川,绵阳,621002;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 微电子学、集成电路（IC）;产品设计;
• 关键词

  微机电系统; 微加工; 稳健设计; Taguchi设计; 优化;