磁控溅射成膜温度对纯铝薄膜小丘生长以及薄膜晶体管阵列工艺良率的影响

刘晓伟; 郭会斌; 李梁梁; 郭总杰; 郝昭慧

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磁控溅射成膜温度对纯铝薄膜小丘生长以及薄膜晶体管阵列工艺良率的影响

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纯铝薄膜被广泛用作TFT LCD的金属电极,但纯铝薄膜在热工艺中容易产生小丘,对TFT的阵列工艺的良率有较大影响.本文用磁控溅射的方法在不同温度下沉积纯铝薄膜作为薄膜晶体管的栅极,并通过电学检测、扫描电子显微镜和应力测试等方法对不同温度下沉积的纯铝薄膜的小丘生长情况进行了研究.实验结果表明:纯铝成膜温度提高,薄膜的晶粒尺寸增大,退火后产生小丘的密度和尺寸明显降低,温度应力曲线中屈服点温度也相应提高.量产中适当提高成膜温度,可以有效抑制小丘的发生,提高TFT阵列工艺的量产良率.

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来源
《液晶与显示》 |2014年第4期|548-552|共5页
作者
刘晓伟; 郭会斌; 李梁梁; 郭总杰; 郝昭慧;
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作者单位

北京京东方显示技术有限公司,北京130012;

北京京东方显示技术有限公司,北京130012;

北京京东方显示技术有限公司,北京130012;

北京京东方显示技术有限公司,北京130012;

北京京东方显示技术有限公司,北京130012;

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正文语种 chi
中图分类 TB31;
关键词
薄膜晶体管阵列工艺; 磁控溅射; 纯铝薄膜; 小丘; 量产良率;

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