相位型空间光调制器的自参考标定方法

李儒佳; 高云晖; 曹良才

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相位型空间光调制器的自参考标定方法

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相位型空间光调制器(SLM)是一种对光的相位信息进行定量调控的器件.由于制造和使用过程中的一些不确定因素,需要标定SLM的相位调制,即输入灰度和输出相位的响应(LUT).本文介绍了基于自参考光路的SLM相位调制标定方法.通过在SLM上产生光栅相位,光栅的衍射级次作为参考光,与标定区域的光干涉、形成干涉图.利用傅立叶频谱分析技术和数字全息技术分析干涉图,可分别对SLM的全局LUT和局部LUT进行测量标定.自参考标定方法仅需一个分束器和CMOS即可标定SLM,同时可实现原位标定,是一种简便高效的标定方法.

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来源
《液晶与显示》 |2021年第6期|854-860|共7页
作者
李儒佳; 高云晖; 曹良才;
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作者单位

清华大学精密仪器系北京海淀100084;

清华大学精密仪器系北京海淀100084;

清华大学精密仪器系北京海淀100084;

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正文语种 chi
中图分类其他;
关键词
液晶空间光调制器; 相位调制; 相位标定; 自参考; 干涉法;

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