差分式MEMS面内加速度计设计

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• 来源
  《传感技术学报》 |2014年第7期|893-897|共5页
• 作者

  董胜飞; 石云波; 周智君; 李策; 李祥;

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• 作者单位

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;

  太原030051;

  中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;

  太原030051;

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;

  太原030051;

  中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;

  太原030051;

  中北大学仪器与电子学院;

  太原030051;

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;

  太原030051;

  中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;

  太原030051;

  中北大学仪器与电子学院;

  太原030051;

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;

  太原030051;

  中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;

  太原030051;

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;

  太原030051;

  中北大学仪器与电子学院;

  太原030051;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TP212;
• 关键词

  差分式; MEMS; 面内加速度计; 高量程;