高精度标准单晶硅球直径测量系统的研究

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• 来源
  《传感技术学报》 |2009年第10期|1392-1395|共4页
• 作者

  康岩辉; 邾继贵; 罗志勇; 叶声华;

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• 作者单位

  天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

  天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

  中国计量科学研究院,北京,100013;

  天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 长度计量;
• 关键词

  光学测量; 直径测量; 硅球; 相移扫描;