基于振动式发电机的微型驻极体研究

唐彬; 温中泉; 温志渝; 董媛

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基于振动式发电机的微型驻极体研究

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针对静电式微型振动式发电机的核心材料--微型化二氧化硅/氮化硅驻极体搭建出了合理的充电实验平台,对充电时的温度、湿度、充电电压、针尖电极的形状、充电时间等参数对驻极体充电后的性能的影响进行实验分析,对加工出的满足要求的微型化驻极体进行性能测试,得到驻极体表面电位大小和稳定性与充电过程的参数的一些联系,总结出了关于提高微型化驻极体表面电位大小以及稳定性的充电条件和方法.

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来源
《传感技术学报》 |2008年第2期|305-309|共5页
作者
唐彬; 温中泉; 温志渝; 董媛;
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作者单位

重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆400044;

重庆大学微系统研究中心,重庆400044;

重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆400044;

重庆大学微系统研究中心,重庆400044;

重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆400044;

重庆大学微系统研究中心,重庆400044;

重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆400044;

重庆大学微系统研究中心,重庆400044;

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正文语种 chi
中图分类其他仪器仪表;
关键词
MEMS; 驻极体; 振动; 发电机;

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