薄膜体声波谐振器的结构参数优化分析

张翊; 包达群; 郭航

首页> 中文期刊> 《传感技术学报》 >薄膜体声波谐振器的结构参数优化分析

薄膜体声波谐振器的结构参数优化分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

建立了微型薄膜体声波谐振器的等效电路模型,研究其整体频率响应特性.提出的等效电路模型考虑了氧化锌压电薄膜两端电极和作为支撑层的氮化硅薄膜对谐振器整体性能的影响,将它们作为传输线引入到等效电路当中.运用PSPICE软件研究了谐振器各结构层的尺寸参数对谐振器谐振频率、品质因数和有效机电耦合系数的影响,并讨论了使用不同材料的电极,谐振器品质因数的变化情况.基于以上分析,对谐振器的结构参数进行优化,获得薄膜体声波谐振器性能的提高.

著录项

来源
《传感技术学报》 |2008年第2期|292-296|共5页
作者
张翊; 包达群; 郭航;
展开▼
作者单位

厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建厦门,361005;

厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建厦门,361005;

厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建厦门,361005;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
薄膜体声波谐振器; 压电等效电路模型; 结构参数优化;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析 [J] . 陆晓欣 ,朱嘉琦 ,王赛 . 功能材料 . 2012,第014期
2. 偏场下薄膜体声波谐振器频率偏移的摄动分析 [J] . 张大鹏 ,高杨 ,许夏茜 . 中国测试 . 2019,第003期
3. 固贴式薄膜体声波谐振器性能受压电材料的影响分析 [J] . 鄂羽佳 ,陆晓欣 ,王建东 . 真空与低温 . 2019,第005期
4. 薄膜体声波谐振器应力负载效应摄动分析 [J] . 高杨 ,张大鹏 ,刘婷婷 . 中国测试 . 2019,第009期
5. 薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析 [J] . 王宇航 ,高杨 ,韩宾 . 强激光与粒子束 . 2017,第007期
6. 层合板结构的薄膜体声波谐振器的振动分析 [C] . De-jin Huang ,黄德进 ,Ji WANG . 2010年全国压电和声波理论及器件技术研讨会 . 2010
7. 基于倾斜AlN薄膜的体声波谐振器制备及性能分析 [A] . 吴雯 . 2010

薄膜体声波谐振器的结构参数优化分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅