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Frequency domain analysis of lamb wave scattering and application to film bulk acoustic wave resonators

机译：兰姆波散射的频域分析及其在薄膜体声波谐振器中的应用

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This paper demonstrates a novel frequency domain analysis (FDA) to evaluate the scattering behavior of a waveguide mode at arbitrary scattering geometries by a time harmonic simulation based on the finite element method (FEM). To this end, we add an injection-damping mechanism (IDM) to avoid interference at the acoustic input port. The IDM can be easily constructed by a numerical operation. Our approach offers improved time consumption and calculation power necessary over the established method in the time domain. After checking the validity of the proposed method, we discuss the importance of considering wave scattering phenomena in film bulk acoustic wave resonator (FBAR) devices by applying the proposed method to two simplified models of an FBAR device.
机译：本文演示了一种新颖的频域分析（FDA），通过基于有限元方法（FEM）的时间谐波仿真，可以评估波导模式在任意散射几何形状下的散射行为。为此，我们添加了注入阻尼机制（IDM）以避免在声学输入端口产生干扰。 IDM可以通过数字运算轻松构建。与时域中的既定方法相比，我们的方法可提供所需的改进的时间消耗和计算能力。在检查了所提出的方法的有效性之后，我们讨论了通过将所提出的方法应用于FBAR装置的两个简化模型来考虑薄膜体声波谐振器（FBAR）装置中的波散射现象的重要性。

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