超高频体模式MEMS谐振器及其传感系统平台技术研究

章新春; 张云峰; 赵建业; 于晓梅

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针对体模式MEMS谐振器激励和响应信号的特点,设计集成了激励信号产生和微弱信号检测的传感测量系统.系统通过对谐振器的扫频激励和检测响应信号,可以准确测量谐振器的谐振频率和Q值特性.为了有效测量谐振器产生的高频微弱位移电流信号,系统设计使用频谱搬移的测量方法.该方法通过把包含在高频信号中的有效信息搬移到低频端进行信号处理,可以提高信号抗噪声的能力,实现对微安量级的高频电流放大检测.

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来源
《传感技术学报》 |2008年第3期|509-512|共4页
作者
章新春; 张云峰; 赵建业; 于晓梅;
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作者单位

北京大学,信息科学技术学院,北京,100871;

北京大学,信息科学技术学院,北京,100871;

北京大学,信息科学技术学院,北京,100871;

北京大学,信息科学技术学院,北京,100871;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.1;TN815;
关键词
体模式谐振器; MEMS; 微弱电流信号放大; DDS;

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