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具有至少一种谐振器模式形状的MEMS谐振器及制造方法,含此MEMS谐振器的振荡器及滤波器

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本发明涉及具有至少一种谐振器模式形状的MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：具有表面(12)的衬底(2)和谐振器结构(1)，其中，谐振器结构(1)为衬底(2)的一部分，其特征在于谐振器结构(1)由第一闭合沟槽(3)和第二闭合沟槽(3)限定，第一沟槽(3)位于第二沟槽(3)内，以便在衬底(2)内形成管状结构(1)，并且仅沿与表面(12)平行的方向从衬底(2)释放谐振器结构(1)。本发明还涉及制造这种MEMS谐振器的方法。

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公开/公告号CN101401303B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-13

原文格式PDF
申请/专利权人 NXP股份有限公司;
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申请/专利号CN200780008457.5
发明设计人马克·斯沃洛斯基;帕特里·加芒;帕斯卡·菲利普;
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申请日2007-03-08
分类号H03H9/02(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址荷兰艾恩德霍芬
入库时间 2022-08-23 09:07:20

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-07-13

授权

授权
2009-05-27

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-04-01

公开

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1. 具有至少一种谐振器模式形状的MEMS谐振器及制造方法,含此MEMS谐振器的振荡器及滤波器 [P] . 中国专利： CN101401303B . 2011.07.13
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3. MEMS resonator having at least one resonator mode shape [P] . 美国专利： US7839239B2 . 2010-11-23

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5. MEMS RESONATOR HAVING AT LEAST ONE RESONATOR MODE SHAPE [P] . 欧洲知识产权局专利： EP1997225B1 . 2009-09-02

机译： MEMS谐振器具有至少一种谐振器模式形状