射频系统中MEMS谐振器和滤波器

李应良; 潘武

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介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件.对这些器件的结构原理、制造方法以及性能指标作了分析.把这些器件的性能指标和目前射频系统中谐振器、滤波器的性能要求进行比较,分析了这些器件的应用前景.最后,对基于MEMS技术的射频谐振器、滤波器发展作出展望.

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来源
《光学精密工程》 |2004年第1期|47-54|共8页
作者
李应良; 潘武;
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作者单位

重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065;

重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类滤波技术、滤波器;
关键词
微电机械系统; 射频系统; 谐振器; 滤波器;

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