MEMS射流角速率传感器中微悬空铂丝加工工艺的优化设计

张乐; 余婷婷; 孙丽娜; 张璐; 闫桂珍

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MEMS射流角速率传感器中微悬空铂丝加工工艺的优化设计

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MEMS射流角速率传感器的工作原理是当有外加角速度时,腔内射流发生偏转,此时腔内产生的不对称温度分布通过微悬空铂丝输出一个差分电压信号.由于器件中的气流在工作平面上作循环运动,这样器件的性能强烈依赖于悬空热敏检测丝的对称性和平整度.考察了不同退火条件对SiC支撑层内应力的影响,结果发现在450℃退火半小时的条件下产生低的张应力SiC,既满足了平整性要求又能很好地保护其下的玻璃衬底.还研究了不同厚度的SiC层在纯HF溶液中腐蚀1 h对玻璃的保护和金属层的"起皮"现象,得出1 μm厚的SiC能有效地防止玻璃表面被腐蚀,而延长反溅射的时间可避免金属层"起皮"现象发生.

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来源
《传感技术学报》 |2008年第4期|632-635|共4页
作者
张乐; 余婷婷; 孙丽娜; 张璐; 闫桂珍;
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作者单位

北京大学微电子学研究院,北京,100871;

北京大学微电子学研究院,北京,100871;

北京大学微电子学研究院,北京,100871;

北京大学微电子学研究院,北京,100871;

北京大学微电子学研究院,北京,100871;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类干法腐蚀工艺;
关键词
MEMS射流角速率传感器; 热敏电阻丝; 等离子体增强化学气相淀积碳化硅;

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