一种非接触式微加速度开关的研究

郭涛; 李丽华; 劳永建

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一种非接触式微加速度开关的研究

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典型的微加速度开关至少包含一个电接触,当阈值加速度值达到时,该开关将闭合.一般为金属接触,比如金.但金属接触可能存在许多问题,如微焊接、电弧、氧化,这些问题可能导致开关工作失灵.鉴于此,本文介绍了一种低驱动电压的非接触式微加速度开关(阈值为5 gn)的设计理论、研究方法和主要加工工艺步骤,同时对非接触式微加速度开关结构的力电耦合进行理论计算,结合ANSYS软件仿真分析验证.

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来源
《传感技术学报》 |2008年第4期|664-666|共3页
作者
郭涛; 李丽华; 劳永建;
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作者单位

中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计与计算;
关键词
微加速度开关; 非接触式; 低驱动电压; 力电耦合分析;

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