高质量简谐振子的研制

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• 来源
  《传感技术学报》 |2006年第2期|301-304|共4页
• 作者

  马广鹏; 陈才和; 唐东林; 崔宇明;

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• 作者单位

  天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

  天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

  天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

  天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 线性振动;
• 关键词

  MOEMS; 简谐振子; 优化设计; 各向异性腐蚀;