神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造

张若昕; 隋晓红; 裴为华; 陈弘达

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神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造

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为了从中枢神经系统记录电信号，半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造．介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程．我们已经制造出15μm厚，3mm长，100μm宽的记录用探针，每根探针含有7个记录点，间隔120μm在制造过程中使用微机械系统（MEMS）212艺中常用的硅表面微加工工艺：等离子增强化学气相淀积（PECVD），感应耦合等离子刻蚀（ICP）以及硅的各向异性刻蚀等．测试结果给出了探针的强度和阻抗特性．

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5a期|P.1404-14061410|共4页
作者
张若昕; 隋晓红; 裴为华; 陈弘达;
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作者单位

中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
微电极探针; 表面微加工工艺; 神经记录;

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