带三维结构的惯性MEMS器件的微细铣削加工

王波; 梁迎春; 孙雅洲; 谭亚明

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带三维结构的惯性MEMS器件的微细铣削加工

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将微细铣削技术应用到了带三维微结构的惯性MEMS器件的加工中．该类惯性MEMS器件由高弹性合金制作，特征尺寸在10μm～200μm，加工精度要求在±1μm，而且对加工残余应力有较高要求．利用自行研制的三轴联动微小型精密铣床，在研究了微径铣刀的悬伸量、径向切深、每齿进给量等切削参数对切削力影响的基础上，提出了最佳切削参数，成功实现了该器件的加工，并采用微桥法对其弹性模量和残余应力进行了测量．

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5a期|P.1473-1476|共4页
作者
王波; 梁迎春; 孙雅洲; 谭亚明;
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作者单位

哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨150001;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类半导体集成电路（固体电路）;
关键词
微细铣削; 惯性MEMS; 弹性模量; 残余应力;

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