复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计

毛海央; 熊继军; 张文栋; 郭涛; 徐栋

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复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计

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为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，需要在结构中合理设计阻尼．设计了一个复合量程压阻式微加速度计，为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数，通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层．根据Reynolds方程，可知当硅一玻璃静电键合间距d=2．25μm时，复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比．

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5b期|P.2186-2189|共4页
作者
毛海央; 熊继军; 张文栋; 郭涛; 徐栋;
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作者单位

中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原030051;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类设计与计算;
关键词
复合量程微加速度计; 压阻式; 二阶系统; 阻尼;

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