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揣荣岩; 刘晓为; 潘慧艳; 王蔚; 张颍;
哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001;
沈阳工业大学信息科学与工程学院,沈阳110023;
多晶硅; 纳米薄膜; 压阻特性; 淀积温度; 应变系数;
机译:电流诱导的不同温度下沉积的多晶硅纳米薄膜的再结晶及其对压阻灵敏度和温度系数的影响
机译:不同沉积温度下多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度,线性和电阻时间漂移
机译:碳黑水泥基传感器在不同温度和含水量下的压阻特性
机译:电流诱导的重结晶对不同温度沉积多晶硅纳米薄膜压阻性能的影响
机译:在结构温度监测应用中,在变化的温度条件下机械应变测量中半导体压阻特性的利用。
机译:不同沉积温度下多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度线性和电阻时间漂移
机译:不同多晶硅的力学性能
机译:低温多晶硅薄膜的元件及其在低温下直接淀积的多晶硅薄膜的方法及其感应耦合等离子体化学气相淀积设备
机译:低温多晶硅薄膜的组成及其在低温下的直接淀积和电感耦合等离子体化学气相沉积设备制造多晶硅薄膜的方法
机译:在基本结晶的电容器介电层上形成具有基本选择性淀积多晶硅的电容器的方法
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