金属氧化物半导体SnO2气敏传感器

田敬民

首页> 中文期刊> 《传感技术学报》 >金属氧化物半导体SnO2气敏传感器

金属氧化物半导体SnO2气敏传感器

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

@@ SnO2具有金红石型的晶体结构,禁带宽度约为3.6 eV.由于Sn的电子亲合力不太强,晶态SnO2都具有氧空位,故属于N型金属氧化物半导体[1].作为施主的氧空位,其能级在导带下约0.15 eV处[2].在制备气体传感器时,为了达到一定的机械强度和使用寿命,常把SnO2制成陶瓷材料烧制在衬底上.工作时,衬底加热到一定温度,与还原性气体接触后,SnO2阻值下降,正是利用这种阻值变化来实现对可燃性气体或有害气体进行检测[3].

著录项

来源
《传感技术学报》 |1996年第2期|50-55|共6页
作者
田敬民;
展开▼
作者单位

西安理工大学微电子技术教研室,西安,710048;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
金属氧化物; 氧化锡; 气敏传感器; 传感器;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 对超低浓度甲烷具有高气敏性的自组装型SnO2纳米棒气敏传感器 [J] . 王冰 . 传感器世界 . 2008,第006期
2. 掺杂金属氧化物半导体气敏传感器性能的研究进展 [J] . 曹冠龙 ,李铁 ,潘国峰 . 光电技术应用 . 2020,第006期
3. 金属氧化物半导体气敏传感器专利技术综述 [J] . 王旭昭 ,王萌 . 技术与市场 . 2019,第002期
4. 金属氧化物半导体气敏传感器的温度补偿技术 [J] . 何永勃 ,张文杰 ,董玉珊 . 机床与液压 . 2018,第006期
5. 金属氧化物半导体气敏传感器 [J] . 傅盼盼 ,杨志学 . 化工时刊 . 2013,第003期
6. 电子束辐照对SnO2传感器气敏性能的影响 [C] . 王德庆 ,耿翔 ,刘铁兵 . 第九届全国化学传感器学术会议 . 2005
7. 基于SnO2的无机-有机复合半导体气敏传感器的制备与研究 [A] . 赵天宇 . 2017

金属氧化物半导体SnO2气敏传感器

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅