康铜薄膜电阻应变传感器的制作

黄蕙芬; 陈国平

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在应变元件与应变膜之间允许直接形成一体的场合下,把应变电阻元件沉积在接受应变的弹性元件上,将使应变传递性能大大改善,这是不言而喻的.但需解决应变电阻膜与接受应变的金属弹性片间的绝缘层问题.本文介绍作者研制的康铜薄膜电阻应变传感器的制造工艺和测试结果,证实了采用双层介质膜是解决绝缘隔离这一技术难点的良好途径.

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来源
《传感技术学报》 |1992年第3期|54-56|共3页
作者
黄蕙芬; 陈国平;
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作者单位

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TP212;
关键词
康铜; 薄膜; 电阻; 传感器;

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