Fe2O3／SnO2和SnO2／Fe2O3双层薄膜的XPS分析

娄向东; 沈荷生

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用X光光电子能谱(XPS),结合Ar^+刻蚀对Fe_2O_3/SnO_2及Fe_20_3/SnO_2双层薄膜进行分析.结果表明:Fe_2O_3/SnO_2膜表面,晶格氧的结合能为529.85eV,热处理前有大量吸附氧存在,在600℃退火后,大部分羟基、羰基形态的吸附氧解吸;SnO_2/Fe_2O_3膜表面,热处理前后都只有少量的吸附氧,经热处理后表面吸附氧却略有增加.双层薄膜中锡向氧化铁层的扩散较铁向氧化锡层的扩散强.扩散的结果,形成了一个数十纳米的过渡层,对元件的气敏性质产生一定的影响.

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来源
《传感技术学报》 |1992年第3期|17-22|共6页
作者
娄向东; 沈荷生;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN304.21;
关键词
XPS分析; SnO2; Fe2O3; 薄膜;

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