边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度

赵俊明; 王文廉

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边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度

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针对金属衬底上的绝缘层厚度测量的需求,研究了一种基于边缘电场传感器测量方法.位于同一平面的传感电极形成边缘场电容,边缘电场穿透绝缘层后在衬底表面发生突变.用三电容模型分析了传感器的测量原理,衬底作为一个浮动电极分别与两个传感器电极构成平行极板电容,与边缘场电容共同构成传感电容.通过Ansoft Maxwell软件进行二维有限元仿真,讨论了电容结构参数对传感电容的影响.实验结果表明,当边缘场电容传感器应用于金属衬底上的绝缘层测量时,表现出边缘场电容与平行板电容复合的特性,而且传感器灵敏度高.当绝缘层厚度相比电极长度较小时,电极的间距对传感器电容输出影响小.

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来源
《传感技术学报》 |2018年第11期|1657-1661|共5页
作者
赵俊明; 王文廉;
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作者单位

中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;

太原030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室;

太原030051;

中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;

太原030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室;

太原030051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算机网络;
关键词
厚度测量; 边缘场电容; 有限元; 单一平面电容;

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