多层导电结构缺陷位置和尺寸的无损估计方法研究

周莹; 金合丽; 陈友荣; 刘半藤; 任条娟

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多层导电结构缺陷位置和尺寸的无损估计方法研究

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针对多层导电结构缺陷位置和尺寸的识别问题,基于脉冲涡流检测数据,提出一种多层导电结构缺陷位置和尺寸的无损估计方法(NEM).NEM采用傅里叶变换和希尔伯特黄变换等方法,提取时域和频域上共47维特征.提出基于AIC+Fisher的特征降维方法,选择最优的特征降维维度,减少特征冗余且降维后的特征能更好表征缺陷类型,提高分类器的识别效率.最后利用支持向量机(SVM)构造分类器,采用粒子群算法对分类器模型参数进行寻优,从而实现多层导电结构缺陷位置和尺寸的识别.实验结果表明:NEM能够适用于多层导电结构的缺陷位置识别和缺陷尺寸识别,提高了识别的查全率和查准率,降低了缺陷尺寸识别的平均误差值,优于SVM47、AF_F、Fisher47和AF_R等方法.

著录项

来源
《传感技术学报》 |2021年第5期|642-649|共8页
作者
周莹; 金合丽; 陈友荣; 刘半藤; 任条娟;
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作者单位

浙江树人大学信息科技学院浙江杭州310015;

常州大学计算机与人工智能学院江苏常州213164;

浙江树人大学信息科技学院浙江杭州310015;

常州大学计算机与人工智能学院江苏常州213164;

浙江树人大学信息科技学院浙江杭州310015;

浙江树人大学信息科技学院浙江杭州310015;

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正文语种 chi
中图分类信息处理（信息加工）;
关键词
无损估计; 数据处理; 多层导电结构; 缺陷位置和尺寸; 脉冲涡流检测;

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