栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差的智能补偿方法

余建平; 卢科青; 李欣

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栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差的智能补偿方法

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本文提出一种栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差的补偿方法和实现方式.分析传感阵列X-Y方向线性位移信号正交性偏差产生的原因,建立偏航角影响下的信号正交性偏差模型,利用互相关检测原理,构造了栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差补偿新方法.实验结果表明,传感阵列正交性偏差跟随偏航角位移θ从为0.2°变化为0.4°,0.8°和2.0°时有显著增大,采用互相关补偿法后保证了X-Y线性位移信号的非线性度维持在0.32％,0.29％,0.24％和0.07％之间,对比直接求解法有大幅的降低,基本消除了正交性偏差对X-Y方向线性位移测量的影响,测量稳定性得到显著改善.

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来源
《传感技术学报》 |2021年第5期|657-662|共6页
作者
余建平; 卢科青; 李欣;
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作者单位

衢州学院浙江省空气动力装备技术重点实验室浙江衢州324000;

杭州电子科技大学机械工程学院浙江杭州310018;

衢州学院浙江省空气动力装备技术重点实验室浙江衢州324000;

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正文语种 chi
中图分类长度计量仪器;
关键词
电容位移传感器; 正交性偏差; 偏航角; 互相关补偿;

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