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【24h】

静電容量型変位計でのナノメートル制御<精密ステージ制御における静電容量型変位計の利点と実用法>

机译:用电容式位移计进行纳米控制<精密位移台控制中的电容式位移计的优点和实用方法>

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摘要

静電容量型変位計の基本原理と計測原理、センサとしての特長、ナノメートルを制御する精密ステージでの使用方法を記載する。特にピエゾステージに組込まれた時の実用例をあげ、適した使用方法を紹介する。
机译:描述了电容式位移计的基本原理和测量原理,其作为传感器的功能以及如何在控制纳米的精密平台上使用它。特别是,当将其结合到压电平台中时,我们将给出一个实际示例,并介绍一种合适的使用方法。

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