铌酸锂薄膜调制器的研究进展

刘海锋; 郭宏杰; 谭满清; 李智勇

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铌酸锂薄膜调制器具有体积小、带宽高、半波电压低的优点,在光纤通讯和光纤传感领域具有重要应用价值,是近年来的研究热点。本文梳理了铌酸锂薄膜调制器的波导结构、耦合结构、电极结构的研究进展,总结了LN薄膜波导的制备工艺,并深入分析了不同结构调制器的性能。基于SOI和LNOI结构,薄膜调制器实现了V_(π)L100 GHz。铌酸锂薄膜调制器的性能在大多数方面优于目前商用铌酸锂调制器,随着波导工艺进一步提升,将成为铌酸锂调制器的热门方案。最后对铌酸锂薄膜调制器的发展趋势和应用前景进行了展望。

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来源
《中国光学(中英文)》 |2022年第1期|1-13|共13页
作者
刘海锋; 郭宏杰; 谭满清; 李智勇;
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作者单位

中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;

北京100083;

中国科学院大学材料科学与光电技术学院;

北京100049;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光电子技术的应用;
关键词
铌酸锂薄膜; LNOI; 电光调制器;

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