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Si衬底GaN基功率型LED制造技术开发

         

摘要

@@ 1 课题目的rn本课题以发展具有自主知识产权的Si衬底外延生长,芯片制造及功率型LED器件封装核心技术为目的.解决Si衬底GaN基LED外延生长、高效功率型GaN基LED芯片制造及封装技术.

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    《中国科技成果》 |2010年第10期|1316|共2页
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