光学薄膜技术的新进展

黄心耕; 王素英

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本文简要介绍了９６年欧洲真空镀膜会议概况，结合９４年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容，对欧洲各国光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介绍，尤其着重于广泛应用于激光、红外及航天等高技术中的类金刚石和金刚石薄膜、软ｘ射线多层膜及其相应镀膜技术－离子镀和离子辅助镀技术、低压反应离子镀和等离子辅助镀技术的研究、发展及应用情况。

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来源
《控制工程（北京）》|1998年第6期|1-7|共7页
作者
黄心耕; 王素英;
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作者单位

北京控制工程研究所;

北京控制工程研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜物理学;
关键词
光学薄膜; 薄膜技术; 类金刚石; 软x射线; 多层膜;

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