为提高原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)中微悬臂梁分布参数模型的精度,本文提出了包含非线性时空特性的改进模型,在此基础上简化控制器的结构.首先加入非线性补偿项修正传统分布参数模型;然后采用Karhunen-Loève(K-L)方法提取系统主导空间基函数,实现系统输出的时空变量分离.利用求解得到的时间系数和系统激励,建立系统时域Hammerstein模型,使系统无限维偏微分方程模型转化为时域有限维常微分方程形式,控制器的设计无需考虑空间耦合的影响;最后,利用最小二乘支持向量机结合奇异值分解法辨识模型中的参数.与传统分布参数模型进行仿真和实验结果比较,验证了方法的有效性.
展开▼
