首页> 中文期刊> 《控制与信息技术》 >YAG激光切割单晶硅的工艺研究

YAG激光切割单晶硅的工艺研究

         

摘要

通过实验研究了YAG激光切割单晶硅的工艺,分析了激光功率、切割速度、辅助气体以及焦点位置对最终切割质量的影响,并对存在的问题提出了改进的建议及方法,为实际应用中参数设置和工艺改进提供了参考,使激光切割工序取得良好的效果。

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号