激光打孔对氮化铝绝缘性能的影响

著录项

• 来源
  《低温与超导》 |2006年第6期|451-455|共5页
• 作者

  任丽; 王海林; 唐跃进; 罗慧倩; 武玺旺; 魏斌; 李敬东; 程时杰;

  展开▼
• 作者单位

  华中科技大学电气学院超导中心,武汉,430074;

  华中科技大学电气学院激光学院,武汉,430074;

  华中科技大学电气学院超导中心,武汉,430074;

  华中科技大学电气学院分析测试中心,武汉,430074;

  华中科技大学电气学院分析测试中心,武汉,430074;

  华中科技大学电气学院超导中心,武汉,430074;

  华中科技大学电气学院超导中心,武汉,430074;

  华中科技大学电气学院超导中心,武汉,430074;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 电工材料;
• 关键词

  激光技术; 绝缘; 微观分析; 氮化铝;