铀上激光辅助化学气相沉积铝薄膜研究

张永彬; 宾韧; 郎定木; 蒲朕

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铀上激光辅助化学气相沉积铝薄膜研究

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为了防止金属铀的腐蚀,本文采用激光辅助化学气相沉积在铀上制备了铝薄膜。采用扫描电镜、X射线衍射、俄歇电子探针分析了薄膜的形貌、物相以及界面特性,并采用电化学极化曲线对薄膜的抗腐蚀性能分析。结果表明,无激光辐照CVD沉积铝薄膜呈微球状,激光辐照后形成了铝薄膜。激光能量低于100 mJ所形成的铝薄膜致密、平整、光滑。较高能量下,薄膜出现火山坑形貌,粗糙度增加。界面处存在UAl2以及UAl3相,且界面处铝以及铀元素成分呈梯度变化。电化学实验表明:铀上激光CVD铝具有优异的抗腐蚀性能,抗腐蚀性能的提高源于薄膜的致密性提高以及界面处形成了铀铝化合物。

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来源
《真空科学与技术学报》 |2013年第11期|1119-1123|共5页
作者
张永彬; 宾韧; 郎定木; 蒲朕;
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作者单位

表面物理与化学重点实验室;

中国工程物理研究院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类各种工业的腐蚀及防腐新方法;
关键词
激光; 化学气相沉积; 防腐蚀; 铝薄膜;

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