一种低损耗射频MEMS器件测试夹具设计研究

王耀利; 张凯旗; 张翀; 程亚昊; 韩路路

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射频MEMS开关以及以开关为基础的射频MEMS器件是应用于5G通信中的重要组成部分。随着通信技术的发展,多种类射频MEMS器件得到广泛应用,定期对生产批次射频MEMS器件进行筛选和检测成为关键。目前射频MEMS器件性能的快速无损检测,依旧是行业内没有很好解决的难题。以铜制弹片为媒介,针对表面贴装式集成封装射频器件,设计高性能、高精度、快速无损伤测试夹具。通过对测试夹具进行多次仿真和实验,证实测试夹具测试射频器件频率可达2 GHz并且测试夹具本身损耗很低。

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来源
《国外电子测量技术》 |2021年第9期|106-110|共5页
作者
王耀利; 张凯旗; 张翀; 程亚昊; 韩路路;
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作者单位

中北大学电气与控制工程学院;

中北大学微系统集成研究中心;

中北大学信息与通信工程学院;

中北大学仪器与电子学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试、检验;
关键词
测试夹具; 弹片; 射频MEMS器件;

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