首页> 中国专利> MEMS器件以及设计用于经历测试操作的MEMS器件的条带

MEMS器件以及设计用于经历测试操作的MEMS器件的条带

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本申请涉及MEMS器件以及设计用于经历测试操作的MEMS器件的条带。更具体地，本申请涉及一种设计用于经历测试操作的MEMS器件(1)的条带(10)，其中所述MEMS器件(1)至少包括耦合至共同的基板(3)的内部表面(3a)并且由保护材料(5)覆盖的半导体材料的相应裸片(6；7)，并且其中邻接的MEMS器件(1)在所述条带(10)中至少部分地分隔；其特征在于，其包括在所述邻接的MEMS器件(1)之间的分隔沟槽(14)，所述分隔沟槽(14)延伸穿过所述保护材料(5)的整个厚度并且穿过所述基板(3)的、从其所述内部表面(3a)开始的表面部分。

著录项

公开/公告号CN203133187U

专利类型实用新型
公开/公告日2013-08-14

原文格式PDF
申请/专利权人意法半导体股份有限公司;意法半导体(马耳他)有限公司;
展开▼

申请/专利号CN201220523422.3
发明设计人 M·阿佐帕迪;C·卡奇雅;S·波兹;
展开▼

申请日2012-10-08
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址意大利阿格拉布里安扎
入库时间 2022-08-21 23:52:34

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-09-25

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R31/00 授权公告日:20130814 终止日期:20171008 申请日:20121008

专利权的终止
2013-08-14

授权

授权

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. MEMS器件以及设计用于经历测试操作的MEMS器件的条带 [P] . 中国专利： CN203133187U . 2013.08.14
2. MEMS器件、其条带测试方法及其测试条带 [P] . 中国专利： CN103033699A . 2013-04-10
3. METHOD FOR STRIP TESTING OF MEMS DEVICES, TESTING STRIP OF MEMS DEVICES AND MEMS DEVICE THEREOF [P] . 美国专利： US2013082258A1 . 2013-04-04

机译： MEMS器件的条带测试方法，MEMS器件的条带测试及其MEMS装置
4. Capacitive MEMS device, capacitive MEMS transducer, method for forming a capacitive MEMS device and method for operating a capacitive MEMS device [P] . 德国专利： DE102018203029A1 . 2018-09-06

机译：电容性MEMS器件，电容性MEMS换能器，形成电容性MEMS器件的方法和用于操作电容性MEMS器件的方法
5. Hybrid CMOS-MEMS devices adapted for high-temperature operation and method for their manufacture [P] . 美国专利： US10214415B1 . 2019-02-26

机译：适用于高温操作的混合CMOS-MEMS器件及其制造方法