用于MEMS器件的隔振平台研究

声明

致谢

摘要

第一章绪论

1．1 MEMS概述

1．1．1 MEMS的概念

1．1．2 MEMS特征

1．1．3 MEMS器件的应用及发展

1．2振动相关危害

1．3 MEMS器件隔振国内外研究现状

1．4本论文的主要工作

第二章MEMS器件隔振方法研究

2．1隔振器分类

2．2 MEMS器件振动环境分析

2．3振动对MEMS器件影响分析

2．4 MEMS器件相关隔振方法

2．4．1器件结构优化隔振

2．4．2集成被动隔振平台

2．4．3集成主动隔振平台

2．4．4阻尼隔振

2．5小结

第三章MEMS器件隔振平台特性分析

3．1 MEMS器件理论模型

3．2 MEMS阻尼特性分析

3．3单层隔振平台研究

3．3．1隔振平台质量对隔振性能的影响

3．3．2隔振平台刚度对隔振性能的影响

3．3．3隔振平台阻尼对隔振性能的影响

3．4双层隔振平台研究

3．4．1质量比对隔振性能影响

3．4．2刚度比对隔振性能影响

3．5小结

第四章隔振平台设计

4．1隔振平台设计准则

4．1．1集成隔振平台对MEMS器件固有频率的影响研究

4．1．2集成隔振平台对MEMS器件Q值影响研究

4．2隔振平台整体设计

4．3隔振平台结构设计

4．4隔振平台仿真分析

4．5制备工艺

4．5．1 MEMS主要加工工艺

4．5．2隔振平台制备工艺

4．6小结

第五章总结与工作展望

5．1总结

5．2展望

参考文献

攻读硕士期间的学术活动及成果情况