表面粗糙结构对真空器件耐压特性的影响

罗婷婷

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表面粗糙结构对真空器件耐压特性的影响

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真空耐压情况是影响许多真空系统组件和设备性能的一个重要影响因素。真空器件内壁表面的粗糙结构会对真空内部电场产生巨大影响,本论文创新性地提出利用参数可控的粗糙表面结构进行静电场仿真,研究静电场分布,定量地分析不同参数的粗糙结构对电极耐压性能的影响。定量地分析不同参数的粗糙结构对电极耐压性能的影响。本研究利用matlab设计三种不同形态分布（高斯分布,正偏态分布和负偏态分布）的粗糙结构,建立了comsol多物理场仿真模型,基于此模型分析不同粗糙结构的表面电场分布特性。仿真结果表明：不能利用单一或者周期性结构去衡量真空配件的耐压性能,不同粗糙结构之间的耐压性能相差较大。因为不同加工方式会形成不同偏态和峰度分布的粗糙结构,选择适当的加工方式能够有效避免因加工方式带来的真空打火击穿问题。与传统单一突起或者周期规律粗糙结构相比,本论文所述的研究方法与实际情况更吻合。本研究的初步结果可对X射线管等真空设备的结构设计和相关工艺技术的选择提供参考。

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来源
《自动化与仪器仪表》 |2018年第6期|173-175|共4页
作者
罗婷婷;
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作者单位

中国电子科技集团公司第三十八研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类信息处理（信息加工）;
关键词
电极; 表面粗糙度; 真空击穿; comsol静电仿真; 真空系统;

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