多晶硅炉热场用C/C复合材料的硅化腐蚀失效机理

贾林涛; 王梦千; 李艳; 李爱军

首页> 中文期刊> 《炭素技术》 >多晶硅炉热场用C/C复合材料的硅化腐蚀失效机理

多晶硅炉热场用C/C复合材料的硅化腐蚀失效机理

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

以2D叠层炭布为增强体的炭/炭(C/C)复合材料作为多晶硅炉用热场盖板,对其在硅液/硅蒸汽共同作用下的硅化腐蚀失效机理进行了研究。通过多功能密度测试仪、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分析了硅化作用对C/C复合材料致密度、微观结构及物相组成的影响,并对侵蚀后的C/C复合材料失效机理进行了分析。结果表明:硅化侵蚀后的C/C复合材料致密度高,存在大量的Si元素,生成了大量的β-SiC,且微观缺陷较多,层间开裂严重,呈现脆性断裂模式。理论分析发现,高温下单位摩尔质量的热解炭和单位摩尔质量的硅发生反应生成单位摩尔质量的SiC后,总体积膨胀约为单位摩尔热解炭体积的6.3倍,不同物相间的热失配导致热应力集中,引起C/C复合材料变形开裂失效,裂纹产生的扩散通道加剧了硅液/硅蒸汽对C/C复合材料的硅化侵蚀作用。

著录项

来源
《炭素技术》 |2023年第1期|15-19|共6页
作者
贾林涛; 王梦千; 李艳; 李爱军;
展开▼
作者单位

上海大学理学院;

上海200444;

核工业第八研究所;

上海201800;

西安航天复合材料研究所;

陕西西安710025;

上海大学绍兴研究院;

浙江绍兴312000;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类非金属复合材料;陶瓷工业;
关键词
多晶硅炉; C/C复合材料; 硅化侵蚀; 热失配; 扩散通道;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 不同出气方式时多晶硅还原炉内的流场和热场模拟 [J] . 杨楠 ,杨志国 ,施汉文 . 太阳能 . 2020,第7期
2. 多晶硅还原炉夹套式封头热-机械耦合场有限元分析 [J] . 李耀宙 . 四川化工 . 2017,第1期
3. 多晶硅铸锭炉加热器的优化及其热场模拟 [J] . 吴波 ,刘传生 ,王伟杨 . 江西科学 . 2017,第1期
4. 多晶硅铸锭炉的三维热场分析 [J] . 吴波 ,刘传生 ,王伟杨 . 铸造技术 . 2016,第10期
5. 定向凝固多晶硅铸锭炉石英坩埚的改进与热场优化 [J] . 陆晓东 ,张鹏 ,吴元庆 . 人工晶体学报 . 2015,第11期
6. 坩埚导热系数对工业用多晶硅铸锭定向凝固炉热场的影响 [C] . 余庆华 ,刘立军 ,钟根香 . 2011年中国工程热物理学会传热传质学学术会议 . 2011
7. 多晶硅铸锭炉热场可视化分析及其关键技术研究 [A] . 韩栋梁 . 2016

多晶硅炉热场用C/C复合材料的硅化腐蚀失效机理

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅