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工艺参数对疏松热解炭微观结构的影响

         

摘要

以不同浓度的乙炔为碳源气体,在不同温度条件下,采用化学气相沉积的方法,在不同表面粗糙度的基体上沉积制备出各种疏松热解炭样品,用扫描电镜检测了疏松热解炭涂层的微观结构。结果表明:在1100~1550℃,随着沉积温度的升高,疏松热解炭颗粒尺寸逐渐增大,1400℃以后沉积的疏松热解炭颗粒较大;粗糙度较小时,不容易发现致密层,当粗糙度达到一定数值,会发现疏松热解炭内层致密外层疏松现象,并且观察发现,随着基体表面粗糙度的加大,致密层逐渐增厚;随着乙炔浓度的增加,疏松热解炭的颗粒尺寸逐渐减小。

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