声波作用下MEMS加速度计失效机制研究

郭芃; 王佳宇; 冯立辉; 卢晨燕

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声波作用下MEMS加速度计失效机制研究

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谐振频率范围内的声波对微机电系统传感器的共振干扰是一种潜在的安全威胁,可导致MEMS加速度计信号路径中放大器失效。文章提出了放大器双边非对称截止失效的理论,仿真分析了线性扫频和扫幅声波信号对MEMS加速度计输出特性的干扰,并进行线性扫频声波和扫幅声波干扰ADXL103的实验以验证理论的正确性,实验结果表明声波干扰导致的最大加速度偏移量为4.8 m/s^2。最后提出了软件迭代算法防御方案,仿真结果表明补偿后的最大加速度干扰偏移量低至0.08 m/s^2。

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来源
《自动化与仪器仪表》 |2020年第4期|5-9|共5页
作者
郭芃; 王佳宇; 冯立辉; 卢晨燕;
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作者单位

北京理工大学光电学院信息光子技术工信部重点实验室;

北京100081;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微机电系统; 加速度传感器; 声波干扰; 放大器截止失效; MEMS;

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