热处理对湿法制备ITO薄膜性能的影响

杨鑫

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热处理对湿法制备ITO薄膜性能的影响

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用湿法涂布的方式制备了ITO透明导电膜,考察了不同热处理条件对ITO薄膜性能的影响。结果表明,随着热处理温度的升高,ITO薄膜的导电性和透光性均逐渐增强;随着热处理时间延长,ITO透明导电膜的电阻率表现出先增强后减弱的趋势,透光率随着热处理时间延长而增强到某一程度后,继续延长热处理时间其透光率保持不变;真空环境有利于提高ITO透明导电膜的导电性。

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来源
《金属热处理》 |2015年第2期|144-147|共4页
作者
杨鑫;
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作者单位

天津大学化工学院绿色合成与转化教育部重点试验室;

天津300072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TG113.3;
关键词
ITO薄膜; 湿法; 热处理; 导电性; 透光性;

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