多梁凹槽高g值加速度计的设计与分析

张宇; 许高斌; 尹盛华; 徐琛; 汪洋; 冯建国

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多梁凹槽高g值加速度计的设计与分析

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针对目前航空航天、车辆碰撞分析等领域对高g值加速度计的迫切需求，设计了一种新型多梁凹槽压阻式加速度计，该加速度计利用变截面梁作为敏感梁来放大质量块的等效惯性力，并通过辅助梁与背面凹槽的组合有效提高结构刚度，实现了高灵敏度输出和良好的频宽特性。建立了加速度计的力学模型，并通过ANSYS有限元软件仿真分析，优化获得了加速度计的结构和尺寸。利用敏感梁表面路径，分析总结其应力分布规律，确定压敏电阻位置。仿真实验结果表明，设计出的该加速度计量程为150 000 g,灵敏度为1.32μV/g,固有频率约为268 kHz。最后基于SOI技术设计了加速度计的工艺流程。

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来源
《电子测量与仪器学报》 |2023年第4期|90-97|共8页
作者
张宇; 许高斌; 尹盛华; 徐琛; 汪洋; 冯建国;
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作者单位

1. 合肥工业大学微电子学院 2. 安徽省MEMS工程技术研究中心;

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正文语种 chi
中图分类 TH824.4;
关键词
压阻式; 加速度计; 变截面梁; 辅助梁; 凹槽; 高g值;

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