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Fe2O3薄膜的金属有机化合物气相沉积生长

         

摘要

本文报道了采用金属有机化合物气相沉积方法生长 Fe2O3薄膜。使 Fe(C5H5)2在氧气气氛中进行气相热分解氧化反应,在热硅基片上沉积生长 Fe2O3薄膜(<1000(?))。通过X射线衍射和电子衍射对薄膜进行了鉴定,测定了薄膜的红外吸收光谱。

著录项

  • 来源
    《人工晶体学报》 |1986年第2期|115-117|共3页
  • 作者

    罗文秀; 黄柏标;

  • 作者单位

    山东大学化学系;

    山东大学晶体材料研究所;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
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