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＜正＞ TN366 95021147投影光刻机调焦传感器研究[学,中]/李东;中科院光电技术研究所.—112页.—1994.6研究了投影光刻机的调焦传感器.重点讨论了调焦传感器的工艺适应性及调焦传感器信号的高精度处理.提出了一种新颖的调焦传感器方案.并对该方案做了理论分析、设计和实验.原理实验中获得了

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《中国光学(中英文)》 |1995年第2期|64-65|共2页
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正文语种 chi
中图分类 TP212;
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