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郑鹏洲; 戴月华; 杨明;
陕西微电子学研究所;
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机译:利用并五苯的固溶结晶技术开发高质量半导体器件的技术。
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机译:光刻技术的信息控制系统及利用其的半导体器件的制造,光刻系统及其制造的半导体设备
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