PECVD-PSG工艺

         

摘要

<正> PSG(磷硅玻璃)是一种常用的半导体器件表面钝化材科。其内部结构由于含有带负电的、未桥联的氧原子形成的负电中心,对器件表面Si-SiO2系统中的表面电荷,尤其是以Na+为代表的可动电荷具有显著的提取、固定和阻挡作用。但是PSG容易吸潮,对金属引线

著录项

  • 来源
    《微电子学与计算机》 |1986年第6期||共页
  • 作者

    俞诚;

  • 作者单位

    江南半导体器件厂;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
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