体会与建议

         

摘要

<正> 等离子体工艺在半导体技术中是一种新的工艺,在半导体物理及半导体器件的研究与制造中,越来越显示其重要性,在LSI和VLSI的科研与生产中,无论是等离子体淀积各种薄膜还是干法腐蚀,都已成为必不可少的手段。因此,在高等院校有关半导体专业的教学中,应当包括

著录项

  • 来源
    《微电子学与计算机》 |1986年第6期||共页
  • 作者

  • 作者单位

    华东师大半导体器件及薄膜研究室;

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  • 正文语种 chi
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